高纯试剂是为了特定的使用目的而用特殊方法生产的一种高纯试剂，其纯度远高于优级纯的试剂。
超净高纯试剂通常由低纯试剂或工业品经过纯化精制而成，其工艺过程包括选料、提纯、过滤、分装、储存等重要环节。
关于电子级试剂
电子级试剂（超净高纯试剂）又称光学与电子学专用高纯化学品，主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂，最重要的特点就是金属含量极低。
超净高纯(VLSD) 试剂是大规模集成电路(IC) 及高档半导体器件制造过程的专用化学品，主要用于硅单晶片的清洗、光刻、腐蚀工序中，下游应用领域为半导体，光伏太阳能电池，LED和平板显示。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能、可靠性都有着重要的影响。
常用于工业的部分电子级试剂
实验室痕量分析的部分电子级试剂
除了工业应用以外，电子级试剂也常用于农业、土壤、水质、环境、纺织等行业。
在样品制备时,经常使用酸进行消解。样品制备试剂会对测量结果产生重要影响。在现代仪器痕量分析中,任何杂质都可能干扰测量。为最大限度减少对仪器信号的干扰,要使用杂质含量超低的酸。
食品和制药检测中，通常利用电子级硝酸进行消解然后进行重金属含量测定。电子级硝酸是各种检测方法最常用的化学品之一。具体用到哪个级别需要根据检测项目的痕量要求来确定。
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级别 |
关键金属 |
适用范围 |
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G1 |
100ppb |
适用于ppb范围痕量分析 |
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G2 |
10ppb |
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G3 |
1ppb |
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G4 |
0.1ppb（100ppt） |
ppt范围痕量分析,例如：ICP-MS |
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