第1包

是

2000

物镜球差校正透射电镜 1 套

1

环境改造：

1.1

配套环境改造工程，该工程须比电镜发货日提前至少一个月完成，该工程须使电镜安装和使用的环境保证电镜的所有功能都不受环境干扰、并对电镜操作人员的身体健康无任何危害、也不造成电镜操作人员感到任何不适。环境改造与电镜主机一同验收。

2

技术说明：

2.1

本系统主要用于材料的原子级高分辨观察和原子级的结构分析，系统由电子光学系统、物镜球差校正系统、高压系统、真空系统、能谱系统、透射电子显微（TEM）成像系统、扫描透射电子显微（STEM）成像和信号探测系统、数字化成像记录系统、样品杆系统、主机工作站、LCD显示器（2x）、远程操控系统、高底座（high base）、监控荧光屏的相机、自动光阑系统（5x）、环境罩、压电陶瓷增强样品台、空气压缩机、冷却单元、成像软件、操控软件、分析软件等部分组成

2.2

电子枪：

2.2.1

类型：配有单色仪的高稳定超亮肖特基场发射电子枪；或者冷场发射电子枪，其闪清过程时间不长于10秒，保证成像和分析质量的相邻两次闪清的间隔时间不短于4小时

2.2.2

亮度：≥7.5 x 10⁷ A/ m²   /sr/V

*2.2.3

加速电压：300kV、200kV、80kV和30kV四档

2.2.4

能量分辨率：≤0.25eV @ 300kV；≤0.15eV @ 80kV

2.2.5

优化磁性电路，使交扰和磁滞降至最低

2.3

分辨率

*2.3.1

300kV时TEM点分辨率数值：≤60 pm

2.3.2

300kV时TEM信息分辨率数值：≤60 pm

*2.3.3

200kV时TEM点分辨率数值：≤80 pm

2.3.4

200kV时TEM信息分辨率数值：≤80 pm

*2.3.5

80kV时TEM点分辨率数值：≤100 pm

2.3.6

80kV时TEM信息分辨率数值：≤100 pm

*2.3.7

30kV时TEM点分辨率数值：≤150 pm

2.3.8

30kV时TEM信息分辨率数值：≤150 pm

*2.3.9

300kV时STEM点分辨率数值：≤136 pm

*2.3.10

200kV时STEM点分辨率数值：≤164 pm

*2.3.11

80kV时STEM点分辨率数值：≤314 pm

2.3.12

HRTEM（高分辨TEM）和HRSTEM（高分辨STEM）之间切换仅需点击鼠标即可完成，热稳定时间小于30秒

2.4

加速电压与对中

*2.4.1

加速电压: 30、80、200、300kV四个加速电压下均具备TEM物镜球差校正及其对中和设置、电镜系统的各个对中及设置，也保证将来安装和使用EELS/GIF系统时的对中及设置无问题

2.5

TEM放大倍数可调范围不窄于50 x – 1.1 Mx

2.6

STEM放大倍数可调范围不窄于150 x – 100 Mx

2.7

放大倍数重复性：配置放大倍率校准软件包)

2.8

至少4个STEM探头，一个BF（明场）、二个低角DF（暗场）、一个HAADF（高角环形暗场）可同时采集信号。

2.9

对同一个样品区域能同时采集HAADF、LAADF（低角环形暗场）、ABF（环形明场）和BF信号

2.10

具备差分相位衬度（DPC）成像探头及其配套的齐全软硬件，例如DeScan等

2.11

能实施DPC成像及其分析，所有倍数下都可以使用

2.12

能实施iDPC成像及其分析，所有倍数下都可以使用

2.13

放置样品的极靴间距不窄于5mm

2.14

相机长度

2.14.1

选区衍射(SA DIFF)时的相机长度范围不窄于3–285cm

2.15

样品台

2.15.1

安装方式：侧插式测角仪样品台

2.15.2

样品更换：气锁方式，典型换样时间小于60秒，更换样品时无需关高压

2.15.3

含防样品污染液氮冷阱

2.15.4

样品台驱动方式：至少五轴马达与压电陶瓷驱动 (X/Y/Z/a倾斜/ b倾斜)

2.15.5

样品移动范围不窄于±1.0mm (X,   Y); ±0.375mm (Z)，在X和Y方向的移动精度为≤20pm，在Z方向的移动精度为≤20pm；X/Y/Z方向机械重复精度：≤300nm

2.15.6

压电陶瓷控制的样品台可确保高精度和无漂移的成像和样品导航，更快更高效的从每个样品采集更多的数据。

2.15.7

普通双倾样品倾斜角度范围不窄于：±35°(a)   / ±30°(b)

2.16

完全无油真空系统，保证电镜的正常运行

2.17

EDS（能谱仪）系统

2.17.1

包含至少2个硅漂移（SDD）无窗半导体探测器，快门保护，集成在电镜极靴内，可灵活拆装

2.17.2

能谱仪探头的有效面积总和不低于120平方毫米

2.17.3

总固体角 ≥ 0.7 srad

2.17.4

可分析元素范围不窄于B⁵   – Am⁹⁵

2.17.5

Fiori峰背比 ≥4000：1 @ Ni-K峰

2.17.6

采谱量程不窄于0～80keV

2.17.7

最大输入计数率：≥   1,000kcps, 最大输出计数率：≥ 500kcps

2.17.8

在做面扫和线扫时，在每个像素上为EDS系统提供信号的电子束驻留的最短时间为≤10微秒，可任意设置该驻留时间

2.17.9

含能谱标准应用软件

2.17.10

定量分析：含K-Factor定量分析，可吸收校正；最新的准确定量功能

2.17.11

能谱仪探头和电镜的冷阱共用一个大液氮杜瓦瓶冷却。特别的机械快门保护探头接触过高强度的X射线和冰的增长。

2.17.12

能谱与电镜一体化软件：自动读取和控制电镜参数，包括放大倍数、相机长度等。

2.17.13

可采集单谱和自动采集谱图像，包括采集过程中自动漂移补偿。

2.17.14

整个能谱仪系统能够无缝安装在电镜里，不影响电镜设备和自身的任何性能

2.17.15

各个能谱探头采集到的数据可以独立显示、也可以合并显示，可以独立输出、也可以合并输出

2.17.16

能谱面扫的采集全过程中的任意一段时间内的所有数据都能够被回放和输出

2.17.17

在任何加速电压下，电镜本身和样品杆本身的任何材料信号的强度都低于样品信号强度的1%，铍除外

2.17.18

能谱仪系统的最高工作温度为≥500?C，保证后期的加热升级

2.17.19

采集能谱的速度可调，最高速度不低于每秒100000谱

2.18

数字化成像记录系统

2.18.1

底装高速CMOS – 16M像素数字化可伸缩型相机，及原位升级附件，内建超高速快门

2.18.2

像素(sensor size)：≥4,096 x 4,096

2.18.3

像素尺寸(pixel size)：≥14μm x 14μm

2.18.4

具备在线数据处理能力，拥有实时样品漂移矫正（能矫正漂移带来的影响，在有漂移存在的情况下保证全图像分辨率）、异常信号扣除（能自动扣除包括X射线和宇宙射线等引入的假象）、动态范围扩展（可超过16位）、以及多种图像记录模式的功能

2.18.5

具备与电镜主机兼容的软件系统，软件配置全

2.18.6

可在各档电子束加速电压条件下工作

2.18.7

全像素 4096 x   4096 读出速率(full sensor read-out speed)为 ≥40fps

2.18.8

全像素帧速(image   display)为≥40 fps

2.18.9

数据存储模式包含图像和视频

2.18.10

图像格式包含1:1 (4k,   2k, 1k, 512)

2.18.11

视频格式包含1:1 (4k,   2k, 1k, 512)

2.18.12

图像记录模式控制（Image   capture modes）包含曝光时间、信噪比和样品辐照剂量（Specimen dose），也能够对曝光时间、图像信噪比或样品辐照剂量的要求，进行自动优化

2.18.13

视频/原位图像记录速度：在4096 x 4096   像素时为≥40 fps，在2048 x 2048 像素时为≥80 fps，在1024 x 1024   像素时为≥160 fps，在512 x 512 像素时为≥320 fps。以这些速度记录下的图像和视频都能够存入硬盘。

2.18.14

动态范围为≥16位（帧叠加）

2.18.15

能拍摄电子衍射谱和Ronchigram

2.18.16

能够在STEM成像和采像中同步采集STEM像中每个像素点对应的衍射谱（包括Ronchigram）

2.18.17

整个数字化成像系统能够无缝安装在电镜上，不影响电镜设备和自身的任何性能

2.18.18

感光器尺寸 ≥ 6cm x 6cm

2.18.19

具备即时变焦能力

2.18.20

相机对应的软件既可执行在线的对齐、过滤、单帧分析等功能，也可执行离线的图像合轴、切片显示、体积工具、过滤、单帧分析等功能

2.18.21

有效视野(sensor   active area)：≥56mm*56mm

2.18.22

配备一套高性能服务器，以快速获取和存储图像与视频。该服务器的配置不弱于以下配置：

- OS:   Windows server 2012 R2 OEM

- 16GB 2Rx4   PC4-2133P-R memory

- Intel   Xeon processor E5-2620v3 FIO

- 2x 120GB   6G SATA RAID1 configured for OS

- 12x 6TB   12G SAS 7.2K HDDs for data storage RAID5 configured (available storage   capacity 66TByte)

- 2x   Ethernet 10Gb 2P 560FLR-SFP+ Adptr (optical link connections)

- Software   version 2.8

- Presence   of 10 Gb/s fiber optic link between the microscope room and the buffer   storage device (room)

- Presence   of 10 Gb/s link from to customer network for access to the customer’s data   storage / image processing hardware

- Presence   of 1 Gb/s point to point UTP connection between the microscope room and the   buffer storage device (room)

- Presence   of a 19” rack for mounting the storage server

另要保证该服务器的使用不得干扰电镜的使用和操作人员，例如做好降噪安排等。

2.19

聚光镜

2.19.1

至少三级聚光镜 - 双线圈光镜，温度保持恒定，不随透镜线圈的激励电流和工作模式(TEM/STEM，放大倍数等) 的变化而改变；与单色器相结合，单色点可以缩小到埃级，这允许具有非常小的探针的高分辨率EELS；多模式照射系统，提供细探针模式，探针模式，平行模式，和低倍率模式，可以随意切换各种模式，而不会产生任何温度引起的偏移。

2.19.2

聚光镜自动光阑有至少4档：C1 –   2000/70/50/30 μm；C2 – 150/100/70/50 μm；C3 –   1000/150/70/50 μm

(带位置记忆功能)

2.20

保证以后能够顺利安装和使用EELS/GIF系统

2.21

三维重构系统

2.21.1

包括：数据采集、对中及重构、三维重构可视化处理三大模块完整一套。

2.21.2

TEM图像、STEM图像和能谱数据的全自动采集软件，自动漂移矫正，自动对焦，自动采集, 所控倾角的可调范围不窄于±70?、倾转步长最小不超过0.01?

2.21.3

数据重构及显示软件，64位

2.21.4

分析型三维重构样品杆一套

2.21.5

重构用专用计算机

2.21.6

配备重构及可视化软件包，重构软件的许可证至少3套、允许至少3台电脑同时使用该软件，可视化软件的流动性许可证允许至少2台电脑同时使用该软件

2.21.7

最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2μm (+/- 70°内倾转)

2.21.8

最大欠焦量变化：≤ 4μm (+/- 70°内倾转)

2.21.9

重复性：≤ 400nm (样品杆重复3次测量)

2.21.10

具备对TEM、STEM以及EDS能谱三维数据，自动漂移矫正、自动对焦、自动采集的功能

2.21.11

含为三维图象采集系统配备的计算机，高端显示卡 (GPU)，Windows 8.1，23英寸宽屏幕显示器，键盘和鼠标。

2.21.12

300kV时的三维STEM重构和三维能谱成分重构的空间分辨率分别可达≤1nm和≤3nm

2.21.13

200kV时的三维STEM重构和三维能谱成分重构的空间分辨率分别可达≤1nm和≤3nm

2.21.14

在各档电压下实施三维能谱成分重构的数据采集的同时可对同一样品区域实施三维STEM重构的数据采集

2.22

高视野低背景双倾样品杆一套

2.23

能在室温和冷冻时做三维重构的冷冻样品杆一套，温度能低至液氮温度

2.24

电子枪安装组件

2.25

能校正直至5级球差的TEM物镜球差校正器及其对中

2.26

最新球差校正软件

2.27

完全数字化透射电镜，结合了高速，数字化搜索与查看相机 (≥30 帧/秒)，取代传统的荧光观察屏，让用户可以远程操控电镜，可以在任何环境中工作。

-             高动态范围模式，允许交替短和长的曝光

-             超坚固的闪烁体设计，使其不易受束流损伤

-             能观察聚焦高强度的束流

-             实时快速傅立叶变换

-             伪彩色成像

-             所有电镜校准可以使用相机进行

2.28

主显示器

2.29

控制系统及软件

2.30

遥控操作和监控系统

2.31

集成法拉第杯，对束流实时测量和监控

2.32

具备TEM模式、电子衍射模式、NBD（纳米束电子衍射）模式、CBED（会聚束电子衍射）模式

2.33

校正样品漂移的压电马达

2.34

UPS保护：至少坚持1小时工作时间

2.35

冷却循环水机

2.36

安静、自动化的空气压缩机，提供清洁、无油、无水的压缩气。

2.37

全自动物镜光阑至少有8档：100/70/60/50/40/30/20/10μm

2.38

全自动选区光阑至少有4档：800/200/40/10μm

2.39

配备系统外罩，减弱来自环境的噪音 (≤20 dBC) 和温度变化 (峰-峰值变化≤0.8度)，增加系统稳定性，在噪声大的环境中，容易达到超高分辨率。也能实现远程操作。

2.40

含超稳定的冷阱杜瓦瓶，一次罐装液氮能维持≥3天的时间，从而减轻日常维护。

2.41

含放大倍率校准包，确保相机记录的图像上印有正确的比例尺；在STEM模式下也能校准图像畸变

2.42

电子全息丝及其齐全的最新版软硬件一套，以及一套最新版的离线分析软件，在线和离线软件中都要有全息专用的软件、插件及其许可证，以保证电子全息实验及其数据分析的顺利进行

2.43

洛仑兹透镜模式及其齐全的软硬件一套

2.44

快速阀门控制及其齐全的软硬件一套，能够在原位实验时针对气体/液体泄露情况自动快速关阀门、以保护真空和电镜部件。

2.45

为用户已有的聚光镜球差校正透射电镜（本文件中的其它未特意说明的配置皆对应本次招标的物镜球差校正透射电镜）配备和安装一套像素化STEM探头，最新版的软硬件齐全，安装和使用时不影响该电镜的任何功能，也配备至少一套最新版的离线分析软件

2.46

为用户已有的聚光镜球差校正透射电镜配备和安装一套最新版的单色器自动调节装置，软硬件齐全，可用于各档加速电压，安装和使用时不影响该电镜的任何功能

2.47

在本次招标的物镜球差校正透射电镜中配备和安装一套最新版的单色器自动调节装置，软硬件齐全，可用于各档加速电压，安装和使用时不影响该电镜的任何功能

2.48

把用户已有的聚光镜球差校正透射电镜上的STEM自动调节软件升级为最新版

2.49

微探针STEM对中

2.50

可用于DigitalMicrograph（即DM）软件的最新版Peak Pairs   Analysis (PPA)插件及其许可证一套，64位版，能用于最新版的DM软件

2.51

出射波重构的最高版齐全软硬件一套，包含在线软件和离线分析软件各一套

2.52

含预安装连接盒

2.53

高性能工作站，最低配置：CPU/Intel   Core i7 3.4GHz，内存/16GB (2x DDR3-1600)，硬盘2x1TB；8x DVD-RW读可写光驱；Windows 7，64位计算机控制系统；含至少两台24英寸液晶显示器，屏幕分辨率1920x1080像素；操作系统及应用软件，原装进口的实验台，和电镜操作台一体化风格。

*2.54

当电镜及其附件的所有功能进行全能力运行时，电镜系统配置的所有工作站不得出现操作员可察觉的变缓、停顿或死机现象。

2.55

软件包含但不限于以下内容

2.55.1

遥控操作软件，配置全

2.55.2

电镜主机、TEM模式及相机和STEM探头的控制、调节、对中、信息采集、图像采集软件，配置全。可在晶体材料上调节STEM对中、消像散和聚焦。最新版的STEM自动调节软件。

2.55.3

球差校正器的控制、调节、对中、信息采集、图像采集软件，配置全。

2.55.4

全套最新版DM软件

2.55.5

最新的主控系统软件，可以通过直观简单的工作流程，实现快速可重复操作，从光学模式设置、探测器选择到采集和分析，快速成功地获得结果。可以同时快速获取多达4个STEM信号。

2.55.6

领先的人体工程学设计，具备友好的数字化用户界面，允许在不同的操作模式和数据采集技术之间快速切换，切换过程中系统自动调回所有相关的操作设置。

2.55.7

可方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。

2.55.8

电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用，无任何时间延迟。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。

2.55.9

主机控制软件具备脚本引擎，能执行定量分析。脚本引擎可以使用研究中广泛采用的 CPython 编程语言，以针对具体需要进行分析

2.55.10

为用户已有的非球差校正的高分辨透射电镜配备和安装一套最新版的STEM自动调节软件，配置齐全，安装和使用时不影响该电镜的任何功能

2.56

具备实时漂移校正帧成像能力

2.57

具备压电样品台提供的线性漂移补偿，能用于缓解原位加热或冷却实验中不可避免的热漂移而造成的限制

2.58

具备高速遥控相机实现全面远程控制功能

2.59

所有电脑的操作系统都为win7；所有电脑和软件都是64位、最新版、在win7操作系统下完全工作。

2.60

所有样品杆都需要和主机兼容、不影响主机的使用和性能

2.61

任何图像和谱等数据中都不要有任何外来干扰导致的噪音

2.62

除电镜本身已具备的一套电子枪外，再提供两套备用的电子枪，其中一套是用于本次招标的物镜球差校正透射电镜、另一套是用于用户已有的聚光镜球差校正透射电镜，这两套电子枪只有在用户需要换电子枪时免费运至用户、并免费安装。

3

技术服务

3.1

安装、调试

*3.1.1

在安装之前，主机制造厂家负责对环境进行免费测量，并将环境改造成适于本台球差校正透射电镜使用的良好环境，环境改造与电镜主机一同验收。改造费用都包含在本次招标的预算里。

*3.1.2

环境改造完毕后厂家免费负责仪器的运输、安装、调试

3.2

培训

*3.2.1

安装开始后，厂家对买方使用人员进行免费培训，培训应使买方使用人员能够进行熟练操作和常规维护，包括软件的高级用户培训。

3.3

验收

3.3.1

设备在买方处安装和调试完毕后，在买方对主机、附件、软件的性能和功能进行测试合格满意以及完成3.2培训的基础上，由买方授权人签字验收。

3.4

保修期

*3.4.1

安装验收合格后：电镜厂家保证电子枪寿命为至少一年，若电子枪寿命低于半年，电镜厂家免费提供免费的电子枪和进行免费的更换操作，若电子枪寿命高于半年、低于一年，电镜厂家将按电子枪未达一年寿命的剩余时间提供相对折扣，此条件在电镜主机报废前终生有效；电镜厂家对该设备中的其它所有部件（耗材和非电镜厂家生产的样品杆除外，能谱仪系统不是耗材）提供一年的免费保修；冷冻样品杆厂家对其产品提供一年的免费保修。

*3.5

在安装调试期内外和保修期内外：要求生产厂家应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在响应后的5个工作日内到达现场、并解决故障，重大问题或其他一时无法迅速解决的问题应在响应后的一周内解决或提出明确、可行的解决方案；对提出明确、可行的解决方案的问题，应在提出解决方案后的一周内解决，若该类问题涉及进口零配件，零配件的海关通关时间不计入解决问题所花的一周。

3.6

软件升级：在硬件支持的前提下，应用软件终生免费升级。

3.7

保修期过后，供货方应继续提供终生应用技术支持和维修服务，并承诺保证不短于10年的零配件供应。

3.8

供应商能够提供的全部技术资料，包括合同签订后提供设备的预安装要求说明书；随机提供产品使用说明书和维护说明书；随机提供完整的产品验收说明书。

4

购置总量为壹套

5

如果厂家在合同生效后提出解除合同，厂家则须承担解除合同所产生的所有费用、在解除合同后的一个月内全额退款并向用户补偿与退款相等的经费。

6

交货日期：合同生效后12个月内发货至天津港