无尘室（洁净室）是指对空气悬浮粒子浓度进行控制的专用空间，广泛应用于半导体、生物医药、精密仪器等领域。那么，如何衡量无尘室的洁净程度？这就涉及"洁净度等级"这一核心概念。
历史上，各国曾制定自己的洁净室标准，如美国的Fed Std 209E、德国的VDI-2083、日本的JIS B 9922等。但目前，ISO 14644-1已成为国际通用标准（最新修订于2015年）。
ISO标准将洁净室分为9个等级，从Class 1到Class 9，数字越小表示洁净度越高。以下是各等级的粒子浓度要求：
Class 1级除了粒子浓度，无尘室还需要严格控制以下环境参数：
压力控制：洁净室级别为10级及以上时，需要保持1.25毫米水柱以上的正压，以防止外部污染物进入。
温度控制：推荐温度范围为19.4℃至25℃，最佳温度为22.2℃，允许偏差为±2.8℃，特殊情况下可控制在±0.14℃以内。
湿度控制：最高湿度45%，最低湿度30%，允许偏差为±10%，特殊情况下为±5%。
气流控制：采用层流方式时，气流速度为0.35米/秒至0.55米/秒；采用湍流方式时，换气次数需达到每小时20次以上。
照度标准：工作区域照度应保持在1,080至1,620 Lux之间，确保工作人员能够清晰操作。
NASA针对生物无尘室制定了专门的标准，不仅控制尘埃颗粒，还严格控制微生物颗粒：
100级生物无尘室：每立方英尺≥0.5微米的尘埃颗粒不超过100个（相当于每立方米3,500个），≥5.0微米的颗粒为0个。微生物方面，浮游菌不超过0CFU/m²/week，沉降菌不超过1,200CFU/m²/week。
10,000级生物无尘室：每立方英尺≥0.5微米的尘埃颗粒不超过10,000个（相当于每立方米350,000个），≥5.0微米的颗粒不超过65个（每立方米2,300个）。微生物方面，浮游菌每立方英尺不超过0.5个（每立方米17.6个），沉降菌每周每立方英尺不超过6,000CFU/m²/week。
100,000级生物无尘室：每立方英尺≥0.5微米的尘埃颗粒不超过100,000个（相当于每立方米3,500,000个），≥5.0微米的颗粒不超过700个（每立方米25,000个）。微生物方面，浮游菌不超过2.5CFU/m²/week，沉降菌每周每立方英尺不超过30,000CFU/m²/week。
生物无尘室的气流需采用乱流方式，换气次数不低于每小时28次。压力和湿度控制标准与美国联邦规范一致，温度以具体指示值为准。
日本工业标准JIS B 9920与ISO标准有对应关系，规定了不同粒径粒子的上限浓度：
对于0.1微米粒子，1级洁净室每立方米不超过101个，2级不超过102个，3级不超过1,000个，4级不超过10,000个，5级不超过100,000个，6级不超过1,000,000个，7级不超过10,000,000个，8级不超过100,000,000个。
对于0.5微米粒子，1级洁净室每立方米不超过0.35个，2级不超过3.5个，3级不超过35个，4级不超过350个，5级不超过3,500个，6级不超过35,000个，7级不超过350,000个，8级不超过3,500,000个。
对于5.0微米粒子，5级洁净室每立方米不超过29个，6级不超过290个，7级不超过2,900个，8级不超过29,000个。
不同行业对洁净度的要求差异很大：
半导体制造行业除ISO标准外，以下标准在特定领域仍有参考价值：
美国联邦标准209B无尘室洁净度等级是衡量洁净室性能的核心指标。从ISO Class 1到Class 9，每个等级都有明确的粒子浓度限制。选择合适的洁净度等级需要根据具体行业需求、工艺要求和成本预算综合考虑。随着技术的进步，ISO 14644-1已成为国际通用标准，但了解历史标准和各国标准的对应关系，对于设备选型、技术交流和文献阅读仍然具有重要意义。
在实际应用中，除了粒子浓度，还需要严格控制压力、温度、湿度、气流和照度等环境参数，才能确保无尘室达到预期的洁净效果。不同行业对洁净度的要求差异很大，从半导体制造的超高洁净度到食品加工的中等洁净度，都需要根据实际需求进行科学设计和严格管理。